دونوںویکیوم پمپ اور کمپریسرگیس پروسیسنگ کے لئے آلات ہیں ، لیکن ان کے ورکنگ اصول اور اطلاق کا دائرہ مختلف ہے۔
ویکیوم پمپ کا بنیادی کام یہ ہے کہ پہلے سے طے شدہ ویکیوم ڈگری حاصل کرنے کے لئے کنٹینر میں دباؤ کو کم کرنے کے لئے گیس کو رد عمل چیمبر سے ہٹانا ہے۔ گیس کو خلا سے سکشن اور راستہ کے طریقہ کار کے ذریعے نکالا جاتا ہے تاکہ ویکیوم ریاست تشکیل دی جاسکے۔ ویکیوم پمپ عام طور پر لیبارٹریوں ، پیداوار اور مینوفیکچرنگ فیلڈز میں استعمال ہوتے ہیں۔ وافر فیبس ، اینچنگ کے سازوسامان ، جمع کرنے کا سامان ، EUV لتھوگرافی کے سازوسامان ، آئن امپلانٹیشن آلات ، پتہ لگانے اور خصوصیات کے سازوسامان وغیرہ میں سب کو خالی کرنے کی ضرورت ہے۔
کمپریسر کا کام گیس کو سانس لینا اور کمپریس کرنا ، گیس کے دباؤ کو بڑھانا ، گیس کو چھوٹے حجم میں کمپریس کرنا ، اور گیس کے کثافت اور دباؤ کو بڑھانا ہے۔ اس کا کام کرنے کا اصول یہ ہے کہ راستہ والو کے ذریعے گیس کو کمپریس کرنا ، اور پھر کمپریسڈ گیس کو گیس ٹینک یا دوسرے سامان میں ڈالنا۔ کمپریسرز عام طور پر پروسیسنگ اور مینوفیکچرنگ فیلڈز میں استعمال ہوتے ہیں۔ سی ڈی اے گیس جس کے بارے میں ہم اکثر بات کرتے ہیں وہ کمپریسر کے ذریعہ فراہم کیا جاتا ہے۔ سی ڈی اے کا استعمال آٹومیشن کے مختلف سازوسامان اور والوز کو کنٹرول کرنے کے لئے کیا جاتا ہے۔ سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے لئے ، سی ڈی اے بہت خالص اور خشک ہونا چاہئے۔ کمپریسر کے ذریعہ ہوا کی پیداوار کو تیل ، نمی اور دیگر ذرات کو دور کرنے کے لئے نفیس فلٹریشن سسٹم سے گزرنے کی ضرورت ہے تاکہ یہ یقینی بنایا جاسکے کہ ویفر کی آلودگی نہیں ہے۔
کے زمرے کیا ہیں؟ویکیوم پمپ اور کمپریسر?
سیمیکمڈکٹر آلات میں ، خشک پمپ اور سالماتی پمپ عام طور پر استعمال ہوتے ہیں۔ خشک پمپ سے مراد ویکیوم پمپ ہے جو تیل کے بخارات کی آلودگی کے مسئلے سے گریز کرتے ہوئے ، کسی مائع کو سگ ماہی یا کولنگ میڈیم کے طور پر استعمال نہیں کرتا ہے۔ یہ عام طور پر سیمیکمڈکٹر آلات کی کسی حد تک ویکیوم نکالنے کے لئے استعمال ہوتا ہے۔ سالماتی پمپ انتہائی اعلی ویکیوم کی سطح کو حاصل کرسکتے ہیں۔ خشک پمپ اور سالماتی پمپ اکثر سیمیکمڈکٹر آلات میں مختلف ویکیوم کی سطح کی ضروریات کو پورا کرنے کے لئے استعمال ہوتے ہیں۔
کمپریسرز کو پسٹن ، سکرو ، سینٹرفیوگل ، روٹری وین ایئر کمپریسرز ، وغیرہ میں تقسیم کیا جاسکتا ہے۔
ویکیوم پمپ اور کمپریسر کے مختلف ڈیزائنوں اور ورکنگ اصولوں کی وجہ سے ، ویکیوم پمپ عام طور پر کمپریسرز کی جگہ نہیں لے سکتے ہیں۔ اگرچہ ویکیوم پمپ گیسوں کے دباؤ اور کثافت کو کم کرسکتے ہیں ، لیکن وہ گیسوں کو چھوٹی مقدار میں اور زیادہ دباؤ میں نہیں ڈال سکتے ہیں۔ اس کے علاوہ ، ویکیوم پمپوں کی محدود کارکردگی اور کام کرنے کی خصوصیات کی وجہ سے ، وہ کم کثافت گیسوں اور کم دباؤ والے ماحول کو سنبھالنے کے لئے بہترین موزوں ہیں۔
لہذا ، اگر گیس کو چھوٹے حجم اور اعلی دباؤ میں دبانے کی ضرورت ہے تو ، ایک کمپریسر استعمال کرنا چاہئے۔ اس کے برعکس ، اگر گیس نکالنے کی ضرورت ہے اور ویکیوم ریاست تشکیل دی گئی ہے تو ، ویکیوم پمپ استعمال کرنا چاہئے۔
اگرچہ دونوںویکیوم پمپ اور کمپریسرگیس پر کارروائی کے لئے استعمال ہونے والے آلات ہیں ، ڈیزائن اور کام کرنے کے اصول میں بڑے فرق ہیں۔ اگرچہ ویکیوم پمپ گیس کے دباؤ اور کثافت کو کم کرسکتا ہے ، لیکن یہ کمپریسر کی جگہ نہیں لے سکتا ، خاص طور پر جب گیس کو چھوٹے حجم اور زیادہ دباؤ میں دبانے کی ضرورت ہو۔
